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- Mikrosystemtechnik für Ingenieure (978-3-527-30536-0) - Einband - flex.(Paperback)
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![]( "Buchcover ISBN 9783527294053")
Völlig neubearbeitet: das erste umfassende Lehrbuch der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses interdisziplinären Forschungsgebiets (u. a. LIGA, Siliziumtechnik, Anwendungen, z. B. in der Medizintechnik).
