Formabtrag an mineralischen Gläsern mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung

In der Arbeit wurden Abtragsverfahren zur Formgebung optischer Komponenten aus mineralischem Glas mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung analysiert. Aus den Untersuchungen zu ausgewählten Gläsern ergab sich, dass mit Verwendung ultrakurzer Laserpulse prinzipiell das gesamte Materialspektrum bearbeitbar ist. Für einen schichtweisen Abtrag wurden plausible Parameterräume definiert, in denen der Ablationsprozess stabil in Bezug auf die Zielgrößen (Rauheit, induzierte optische Gangunterschiede, Abtragstiefe, Schädigungstiefe sowie Abtragsraten) beschrieben werden kann. Es konnte festgestellt werden, dass sich in Relation zu einem spezifischen Vorbearbeitungszustand mit zunehmendem Abtrag und mithilfe einer gezielten Partikelabfuhr sowohl ein Gleichgewicht der Rauheit (eine Sättigungsrauheit) als auch linear fortschreitender Abtrag einstellt. Für dieses Abtragsverhalten an Glas wurden ein Modell für den 2,5D-Formabtrag aufgestellt, Aussagen zum Konditionierabtrag getroffen und Demonstratoren gefertigt.