Formmessung an Präzisionsbauteilen mit einem dynamisch nachgeführten interferometrischen Zeilensensor

Der in Kooperation zwischen der Universität Kassel und der PTB entwickelte Zeilensensor besitzt einen Akzeptanzwinkel von 8 Grad und muss daher bei stärker gekrümmten Prüflingen geneigt und der Prüflingsgeometrie nachgeführt werden. Für die Nachführung wird der Liniensektor in ein Mehrachsen-Bewegungssystem integriert. Die notwendigen Justageschritte des Messaufbaus werden in dieser Arbeit beschrieben. Ebenso werden verschiedene Kalibrierstrategien des Systems vorgestellt.