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Intensive Elektronen- und Ionenstrahlen
Quellen — Strahlenphysik — Anwendungen
von Sergeij I. Molokovski und Aleksandr D. Suschkov, übersetzt von Günter ZschornackInhaltsverzeichnis
- 1 Formierung intensiver Elektronen- und Ionenstrahlen.
- 1.1 Strahlparameter und Klassifikation von teilchenoptischen Systemen.
- 1.2 Formierung von Elektronenstrahlen in elektronischen Geräten.
- 1.3 Fokussierende (transportierende) Systeme.
- 1.4 Elektronenoptische Systeme in technologischen Elektronenstrahlanalgen.
- 1.5 Ionenoptische Systeme.
- 2 Methoden der Feldberechnung elektronenoptischer Systeme.
- 2.1 Grundlegende Gleichungen für das elektrostatische Feld.
- 2.2 Berechnung elektrostatischer Felder. Das Dirichlet-Problem.
- 2.3 Berechnung elektrostatischer Felder. Das Cauchy-Problem.
- 2.4 Computergestützte Berechnung elektrostatischer Felder.
- 2.5 Grundlegende Gleichungen des magnetischen Feldes.
- 3 Bewegung einfach geladener Teilchen.
- 3.1 Allgemeine Bewegungsgleichungen.
- 3.2 Bewegung von Teilchen in axialsymmetrischen Feldern.
- 3.3 Bewegung von Teilchen in planparallelen Feldern.
- 3.4 Numerische Berechnungsmethoden für Trajektorien geladener Teilchen.
- 3.5 Elektrostatische Linsen.
- 3.6 Magnetische Solenoidlinsen.
- 3.7 Magnetische Linsen aus Permanentmagneten.
- 4 Transport von Strömen geladener Teilchen.
- 4.1 Besonderheiten des Transportes geladener Teilchen.
- 4.2 Vereinfachte physikalische Modelle von Strömen geladener Teilchen.
- 4.3 Gleichungssysteme in der hydrodynamischen Näherung.
- 4.4 Genäherte Berechnung des Coulombfeldes.
- 4.5 Strahltransportberechnung in feldfreien Kanälen.
- 4.6 Der Einfluß positiver Ionen auf die Ausbreitung von Elektronenstrahlen.
- 4.7 Streung von Elektronenstrahlen an Restgasmolekülen.
- 4.8 Einfluß der Anfangsgeschwindigkeiten auf die Strahlkonfiguration.
- 4.9 Lösungsmethodik selbstkonsistenter elektronenoptischer Aufgaben.
- 5 Elektronenkanonen.
- 5.1 Die Formierung von Elektronenstrahlen.
- 5.2 Kanonen zur Formierung vonbandförmigen Strahlen.
- 5.3 Kanonen zur Formierung dichter axialsymmetrischer Strahlen.
- 5.4 Kanonen zur Formierung hohler axialsymmetrischer Strahlen.
- 5.5 Elektronenkanonen mit Steuerelektroden.
- 5.6 Rechnergestützte Projektierung von Elektronenkanonen.
- 6 Kanonen mit Autoemissions- und Plasmaemittern.
- 6.1 Grundlegende Eigenschaften und Kanonenparameter.
- 6.2 Schwachstromelektronen- und Ionenkanonen mit Autoemissionskathoden.
- 6.3 Starkstromelektronenkanonen mit Explosionsemissionskathoden.
- 6.4 Elektronen- und Ionenplasmaquellen.
- 6.5 Extraktion geladener Teilchen und Formierung von Teilchenstrahlen.
- 7 Magnetisch fokussierende Systeme.
- 7.1 Fokussierung voller axialsymmetrischer Strahlen im Magnetfeld.
- 7.2 Systeme zur reversiven und periodischen Fokussierung.
- 7.3 Fokussierung hohler axialsymmetrischer Strahlen.
- 7.4 Systeme zur Fokussierung bandförmiger Elektronenstrahlen.
- 7.5 Projektierung magnetisch fokussierender Systeme.
- 8 Elektrostatisch fokussierende Systeme.
- 8.1 Fokussierungssysteme für volle axialsymmetrische Strahlen.
- 8.2 Fokussierungssysteme für bandförmige Strahlen.
- 8.3 Fokussierung hohler axialsymmetrischer Strahlen.
- 9 Elektronenoptische Sondensysteme.
- 9.1 Elektronenoptische Systeme in Elektronenstrahl- schweißanlagen.
- 9.2 Elektronenoptische Systeme der Elektronenstrahllithographie.
- 9.3 Elektronenoptische Systeme von Anlagen zur Ionenimplantation.
- 10 Transport intensiver relativistischer Strahlen geladener Teilchen.
- 10.1 Relativistische Bewegungsgleichungen.
- 10.2 Intensive relativistische Strahlen in Vakuumkanälen.
- 10.3 Intensive neutralisierte Strahlen.
- 10.4 Trajektorienanalyse relativistischer Elektronenstrahlen auf dem Computer.
- 11 Elektronenoptische Vielstrahlensysteme.
- 11.1 Besonderheiten und Anwendungsbereiche.
- 11.2Vielstrahlelektronenkanonen und magnetisch fokussierende Systeme.
- 11.3 Besonderheiten der Formierung von Vielstrahlenelektronenflüssen.
- 11.4 Wechselwirkung von Elektronenstrahlen.
- 12 Elektronen- und Ionenstrahldiagnostik.
- 12.1 Die Messung von Strahlparametern.
- 12.2 Klassifikation und Charakteristik experimenteller Methoden.
- 12.3 Beweglicher Kollektor mit geringer Appertur.
- 12.4 Koaxiale Sonden mit Halbleitertarget.
- A Emittanz und Brigthness.
- A.1 Emittanz.
- A.2 Brightness.
- A.3 Mittlere quadratische Emittanz.
- B Kommentierte FORTRAN-Programmtexte.
- B.1 Berechnung der Induktivität eines Solenoiden.
- B.2 Feldberechnung einer ringförmigen Magnetlinse.
- B.3 Feldberechnung einer elektrostatischen Linse.
- B.4 Graphische Darstellung der Resultate.