Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen von Dieter Lipinsky | Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen | ISBN 9783824420667

Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

von Dieter Lipinsky
Buchcover Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen | Dieter Lipinsky | EAN 9783824420667 | ISBN 3-8244-2066-X | ISBN 978-3-8244-2066-7

Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

von Dieter Lipinsky

Inhaltsverzeichnis

  • 1 Einleitung.
  • 2 Theoretische Grundlagen.
  • 3 Apparaturbeschreibung.
  • 4 Probensysteme und Meßablauf.
  • 5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.
  • 6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.
  • 7 Zusammenfassung.
  • Abbildungsverzeichnis.
  • Tabellenverzeichnis.