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Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
von Robert Külls, herausgegeben von Klaus Thoma und Stefan HiermaierIn dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.