Industrielle Chemie und FertigungstechnologienBochumer Universitätsverlag Westdeutscher Universitätsverlag × Plasmaunterstützte Niedertemperaturprozesse für die SiliziumtechnologieProzessentwicklung und Defekt-EngineeringReinhart JobBochumer Universitätsverlag Westdeutscher UniversitätsverlagSoftcover2002