Raster-Elektronenmikroskopie

Inhaltsverzeichnis

• 1. Einleitung.
• 1.1. Prinzipielle Wirkungsweise und Betriebsarten eines Raster-Elektronen-mikroskopes (SEM).
• 1.2. Vergleich des Raster-Elektronenmikroskopes mit dem Lichtmikroskop und Transmissions-Elektronenmikroskop.
• 1.3. Vergleich des Raster-Elektronenmikroskopes mit anderen Elektronen-Strahlgeräten.
• Literatur zu § 1.
• Monographien, Tagungsbände und Bibliographien.
• 2. Wechselwirkung Elektron-Materie.
• 2.1. Einleitung.
• 2.2. Elektronenstreuung am Einzelatom.
• 2.3. Streuung in einer durchstrahlbaren Schicht.
• 2.4. Elektronendiffusion in kompaktem Material.
• 2.5. Rückstreuung und Sekundärelektronen-Emission.
• 2.6. Ausbreitung der Elektronen in Kristallen.
• Literatur zu § 2.
• 3. Elektronenoptik, Aufbau und Funktion des Raster-Elektronenmikroskopes.
• 3.1. Elektronenoptische Grundlagen.
• 3.2. Abrasterung und Fokussierung.
• 3.3. Objektveränderungen durch Elektronenbeschuß.
• 3.4. Objektkammer und Detektoren.
• 3.5. Elektronik und Bildaufzeichnung.
• 3.6. Spezielle Techniken der Raster-Elektronenmikroskopie.
• Literatur zu § 3.
• 4. Abbildung mit Sekundär-, Rückstreuelektronen und Probenströmen.
• 4.1. Oberflächentopographie.
• 4.2. Materialkontrast.
• 4.3. Auflösungsgrenze und Informationstiefe.
• 4.4. Channelling-Diagramme und Kristallorientierungskontrast.
• 4.5. Abbildung und Messung elektrischer Potentiale.
• 4.6. Abbildung und Messung magnetischer Objektfelder.
• 4.7. Abbildung mit internen Probenströmen und elektromotorischen Kräften.
• Literatur zu §4.
• 5. Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie.
• 5.1. Spezielle Eigenschaften der Rastertransmission.
• 5.2. Realisierung des Transmissionsbetriebes.
• 5.3. Anwendung der Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie.
• Literatur zu § 5.
• 6. Elementanalyse und Abbildung mit emittierten Quanten und Augerelektronen.
• 6.1. Grundlagen der Röntgenemission.
• 6.2. Wellenlängen- und energiedispersive Röntgenanalyse.
• 6.3. Grundlagen der Röntgenmikroanalyse.
• 6.4. Ausnutzung der Beugung und Absorption der Röntgenstrahlung.
• 6.5. Andere Verfahren der Elementanalyse.
• 6.6. Kathodolumineszenz.
• Literatur zu § 6.
• 7. Auswertemethoden rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen.
• 7.1. Ermittlung der dreidimensionalen Struktur.
• 7.2. Stereometrie.
• 7.3. Optische Transformationen.
• Literatur zu § 7.
• 8. Präparation.
• 8.1. Einleitung.
• 8.2. Präparatmontage und Oberflächenvorbereitung.
• 8.3. Stabilisierung der Objekte.
• 8.4. Kleine Teilchen und durchstrahlbare Präparate.
• 8.5. Abdruckverfahren.
• 8.6. Vermeidung von Aufladungen.
• 8.7. Erweiterung der Bildinformation.
• Literatur zu § 8.