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Buchcover ISBN 9783663145585

Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

von Dieter Lipinsky

Inhaltsverzeichnis

  • 1 Einleitung.
  • 2 Theoretische Grundlagen.
  • 3 Apparaturbeschreibung.
  • 4 Probensysteme und Meßablauf.
  • 5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.
  • 6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.
  • 7 Zusammenfassung.
  • Abbildungsverzeichnis.
  • Tabellenverzeichnis.

ISBN-Daten

eBook, PDF
211 Seiten
Auflage
1995
erschienen am
29.07.2013
ISBN-10
3-663-14558-1
ISBN-13
978-3-663-14558-5
Lieferstatus
verfügbar

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