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![]( "Buchcover ISBN 9783663145585")
Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen
Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen
von Dieter LipinskyInhaltsverzeichnis
- 1 Einleitung.
- 2 Theoretische Grundlagen.
- 3 Apparaturbeschreibung.
- 4 Probensysteme und Meßablauf.
- 5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.
- 6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.
- 7 Zusammenfassung.
- Abbildungsverzeichnis.
- Tabellenverzeichnis.
