Reihe Scripts Precision and Microproduction EngineeringMatthias Hackert-Oschätzchen × Gestaltung von elektrochemischen Abtragprozessen durch Multiphysiksimulation gezeigt an der Endformgebung von MikrobohruHabilitation Matthias Hackert-OschätzchenMatthias Hackert-OschätzchenWissenschaftliche ScriptenSoftcover2015