Verlag Universität Stuttgart Inst. f. Konstr. u. Fertigung Feinwerktechn.Ralf Hartramph × Integrierte Wegmessung in feinwerktechnischen elektrodynamischen Lineardirektantrieben Ralf HartramphUniversität Stuttgart Inst. f. Konstr. u. Fertigung Feinwerktechn.Softcover2001