Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

Inhaltsverzeichnis

• 1 Einleitung.
• 1.1 Die Entwicklung der Vakuumtechnik.
• 1.2 Bedeutung und Aufgabe der heutigen Vakuumtechnik.
• 1.3 Literatur.
• 2 Gasgesetze, Grundlagen der kinetischen Gastheorie und Gasdynamik.
• 2.1 Die Zustandsgrößen eines Gases.
• 2.2 Mengengrößen, mengenbezogene Größen.
• 2.3 Die Gesetze des idealen Gases.
• 2.4 Grundlagen der kinetischen Theorie der Materie, insbesondere im gasförmigen Zustand.
• 2.5 Transportvorgänge.
• 2.6 Dämpfe. Verdampfung und Kondensation.
• 2.7 Gasdynamik.
• 2.8 Literatur.
• 3 Sorption und Desorption.
• 3.1 Sorptionsphänomene und deren Bedeutung; Begriffe und Terminologie.
• 3.2 Adsorptions- und Desorptionskinetik.
• 3.3 Praktische Hinweise zu Adsorption und Desorption.
• 3.4 Absorption, Okklusion.
• 3.5 Ausgasung.
• 3.6 Literatur.
• 4 Strömungsvorgänge.
• 4.1 Ubersicht. Kennzeichnung der Strömung durch Vakuumbereiche.
• 4.2 Gasstrom, Saugleistung, Saugvermögen.
• 4.3 Rohrleitung als Strömungswiderstand.
• 4.4 Das effektive Saugvermögen einer Vakuumpumpe.
• 4.5 Strömung im Grobvakuumbereich.
• 4.6 Strömung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich.
• 4.7 Strömung im Feinvakuum.
• 4.8 Strömung bei Temperaturdifferenz zwischen zwei Kesseln/Rezipienten/Gefäßen. Thermische Effusion.
• 4.9 Messung von Strömungsleitwerten.
• 4.10 Literatur.
• 5 Verdrängerpumpen.
• 5.0 Übersicht.
• 5.1 Oszillations-Verdrängerpumpen.
• 5.2 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen.
• 5.3 Ölgedichtete Rotations-Vakuumpumpen.
• 5.4 Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen).
• 5.5 Trocken verdichtende Vakuumpumpen.
• 5.6 Literatur.
• 6 Treibmittelpumpen.
• 6.1 Einleitung, Übersicht.
• 6.2 Flüssigkeitsstrahlpumpen.
• 6.3 Dampf- und Gasstrahl-Vakuumpumpen.
• 6.4 Diffusionspumpen.
• 6.5 Diffusionspumpen — Dampfstrahlpumpen.
• 6.6 Literatur.
• 7 Molekularpumpen.
• 7.1 Einleitung.
• 7.2 Molekularpumpen.
• 7.3Turbomolekularpumpen.
• 7.4 Theorie der einstufigen Pumpe.
• 7.5 Leistungsdaten von Turbomolekularpumpen.
• 7.6 Betriebshinweise.
• 7.7 Anwendungen.
• 7.8 Literatur.
• 8 Sorptionspumpen.
• 8.1 Adsorptionspumpen.
• 8.2 Gasaufzehrung durch Getter.
• 8.3 lonenzerstäuberpumpen.
• 8.4 Literatur.
• 9 Kondensatoren.
• 9.1 Kondensatoren als Vakuumpumpen.
• 9.2 Bauarten von Kondensatoren.
• 9.3 Kondensatoren in Kombination mit Vakuumpumpen.
• 9.4 Berechnung von Kondensator-Pumpen-Kombinationen.
• 9.5 Literatur.
• 10 Kryotechnik und Kryopumpen.
• 10.1 Einleitung.
• 10.2 Kühlverfahren.
• 10.3 Stoffeigenschaften bei tiefen Temperaturen.
• 10.4 Temperaturmessung.
• 10.5 Kryostatentechnik.
• 10.6 Kryopumpen.
• 10.7 Literatur.
• 11 Vakuummeßgeräte und Lecksuchgeräte.
• 11.0 Vorbemerkung.
• 11.1 Druck- und Teilchenanzahldichte; Übersicht.
• 11.2 Mechanische Vakuummeter.
• 11.3 Flüssigkeitsmanometer.
• 11.4 Wärmeleitungsvakuummeter.
• 11.5 Ionisationsvakuummeter.
• 11.6 Partialdruckmeßgeräte.
• 11.7 Lecksuchgeräte.
• 11.8 Kalibrieren von Vakuummetern.
• 11.9 Literatur.
• 12 Lecksuchtechnik.
• 12.1 Überblick.
• 12.2 Überdruckverfahren.
• 12.3 Lecksuchverfahren bei Vakuum.
• 12.4 Testlecke für Lecksuchgeräte.
• 12.5 Allgemeine Hinweise für die Lecksuche.
• 12.6 Lecksuchtechnik in der Serienfertigung.
• 12.7 Literatur.
• 13 Werkstoffe.
• 13.1 Allgemeine Gesichtspunkte und Einteilung.
• 13.2 Die Werkstoffe im einzelnen.
• 13.3 Gasdurchlässigkeit.
• 13.4 Gasabgabe.
• 13.5 Literatur.
• 14 Bauelemente der Vakuumtechnik und ihre Verbindungen.
• 14.1 Nichtlösbare Verbindungen.
• 14.2 Lösbare Verbindungen.
• 14.3 (Vakuum-)Behälter.
• 14.4 Durchführungen.
• 14.5 Flexible Verbindungsstücke.
• 14.6 Absperrorgane (Ventile).
• 14.7 Reinigen vakuumtechnischer Werkstoffe und Bauelemente.
• 14.8 Literatur.
• 15 Arbeitstechnik in deneinzelnen Druckbereichen.
• 15.1 Allgemeine Hinweise.
• 15.2 Arbeitstechnik im Grobvakuum (1013 ... 1 mbar).
• 15.3 Arbeitstechnik im Feinvakuum (1 ... 10?3 mbar).
• 15.4 Arbeitstechnik im Hochvakuum (10?3 ... 10?7 mbar).
• 15.5 Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum (p < 10?7 mbar).
• 15.6 Literatur.
• 16 Anhang.
• 16. A Tabellen.
• 16. B Diagramme.
• 16. C Erläuterung einiger häufig verwendeter Abkürzungen.
• 16. D Größen und Einheiten.
• 16. E Formelzeichen (Symbole) häufiger verwendeter physikalischer Größen und deren SI-Einheiten.
• Sachwortverzeichnis.