Meß- und Prüftechnik

Inhaltsverzeichnis

• 1 Einleitung.
• Literatur zu Kapitel 1.
• 2 Analoge integrierte Schaltungen.
• 2.1 Informationsgehalt von Datenblättern.
• 2.2 Allgemeine Messungen.
• 2.3 Typenbezogene Messungen.
• 2.4 Prüfstrategien und Prüfmittel.
• 2.5 Literatur zu Kapitel 2.
• 3 Testen digitaler integrierter Schaltungen.
• 3.1 Einleitung.
• 3.2 Fehlerursachen und Fehlermodelle.
• 3.3 Testmustererzeugung.
• 3.4 Testfreundlicher Entwurf.
• 3.5 Testen digitaler Speicher.
• 3.6 Testautomaten.
• 3.7 Literatur zu Kapitel 3.
• 4 Zuverlässigkeit integrierter Schaltungen.
• 4.1 Zuverlässigkeitsbegriffe und statistische Beschreibungsweisen.
• 4.2 Ausfallmechanismen und ihre Aktivierbarkeit durch Belastung.
• 4.3 Reale Zuverlässigkeit.
• 4.4 Maßnahmen der Zuverlässigkeitssicherung.
• 4.5 Maßzahlen der Zuverlässigkeit.
• 4.6 Literatur zu Kapitel 4.
• 5 Elektronenstrahl-Potentialmeßtechnik.
• 5.1 Einführung.
• 5.2 Qualitative Verfahren.
• 5.3 Quantitative Verfahren.
• 5.4 Meßbedingungen.
• 5.5 Geräte.
• 5.6 Anwendungen.
• 5.7 Literatur zu Kapitel 5.
• 6 Prüfen von Halbleiterbauelementen mittels elektroneninduziertem Strom (EBIC).
• 6.1 Einführung.
• 6.2 Grundlagen.
• 6.3 Versuchsbedingungen.
• 6.4 Anwendungen.
• 6.5 Literatur zu Kapitel 6.
• 7 Leistungshalbleiterbauelemente.
• 7.1 Übersicht.
• 7.2 Typische Probleme der Meßtechnik für Leistungshalbleiterbauelemente.
• 7.3 Typische Meßmethoden.
• 7.4 Beschreibung eines Meßplatzes.
• 7.5 Literatur zu Kapitel 7.
• 8 Optoelektronische Bauelemente.
• 8.1 Einführung.
• 8.2 Lichtmessung.
• 8.3 Messungen an Lichtsendern.
• 8.4 Messungen an Lichtempfängern.
• 8.5 Messung von Sender-Empfänger-Kombinationen.
• 8.6 Literatur zu Kapitel 8.