Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen

Inhaltsverzeichnis

• Abkürzungen und Formelzeichen.
• 1 Einleitung.
• 1.1 Problemstellung.
• 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.
• 2 Stand der Technik.
• 2.1 Begriffe und Definitionen.
• 2.2 Ausgangssituation.
• 3 Entwicklungsschwerpunkte.
• 3.1 Ableitung von Untersuchungsinhalten.
• 3.2 Anforderungen an Untersuchungsmethoden.
• 4 Auswahl von Untersuchungsmethoden und Entwicklung von Versuchseinrichtungen.
• 4.1 Auswahl der Meßgeräte.
• 4.2 Entwicklung einer kontaminationsfreien, transportablen Laser-Lichtschnitt-Anlage zur Strömungssichtbarmachung.
• 4.3 Tracer-Erzeugung und -Einbringung.
• 4.4 Aufbau eines automatisierten Prüfstandes zur Durchführung von Geschwindigkeitsrastermessungen.
• 5 Ermittlung des Einflusses unterschiedlicher Turbulenzintensitäten der Reinraumströmung.
• 5.1 Einflußbereich von Funktionsträgern auf die ungestörte Reinraumströmung.
• 5.2 Partikelausbreitung im Nachlauf von Funktionsträgern.
• 6 Untersuchung der Strömung innerhalb und in der Umgebung von Fertigungseinrichtungen.
• 6.1 Durchführung der Untersuchungen.
• 6.2 Strömungsanalyse an Funktionsträgern.
• 6.3 Strömungsuntersuchungen an Baugruppen.
• 6.4 Strömungsausbildung an Fertigungsanlagen.
• 7 Richtlinien zur strömungstechnischen Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen.
• 7.1 Vorgehensweise bei der Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen.
• 7.2 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Integration von Funktionsträgern in Baugruppen und Fertigungsanlagen.
• 7.3 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Anordnung von Baugruppen in Fertigungsanlagen.
• 7.4 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Aufstellung von Fertigungsanlagen in Reinräumen.
• 8 Umsetzung und Erprobung der Richtlinien anhand der Optimierung einer Prototypanlage.
• 8.1 Beschreibung desPrototypen und der bestehenden Anforderungen.
• 8.2 Schwachstellenanalyse.
• 8.3 Modifikationsphase.
• 8.4 Optimierte Fertigungseinrichtung.
• 8.5 Bewertung der Anwendbarkeit der aufgestellten Richtlinien.
• 9 Zusammenfassung und Ausblick.
• 10 Schrifttum.