Wave front shaping with zone plates: Fabrication and characterization of lenses for soft x-ray applications from standard to singular optics

Gegenstand dieser Dissertation ist die Erforschung neuer Mikro- und Nanostrukturierungsverfahren zur Herstellung von Röntgenoptiken, die Fertigung von Röntgenoptiken und ihrer Charakterisierung. Das Ziel der Arbeit ist die Realisierung von Zonenplatten
mit neuartigen optischen Konzepten, wie z. B. singulären Zonenplatten zur Erzeugung von Lichtfelder mit Phasensingularitäten (sogenannten Röntgenvortexstrahlen) für die Anwendung in der Röntgenspektroskpie. Zu diesem Zweck wird eine bestehende auf Ionenstrahllithographie basierende Strukturierungsmethode weiterentwickelt und eine
neue durch Kombination von Ionenstrahllithographie und Trockenätzen erarbeitet. In einem Röntgenmikroskop werden die Eigenschaften der hergestellten Optiken ausgemessen und die Leistungsfähigkeit überprüft.