× Silizium-PlanartechnologieGrundprozesse, Physik und Bauelementevon Hans-Günther Wagemann und Tim SchönauerMitwirkendeAutor / AutorinHans-Günther WagemannAutor / AutorinTim SchönauerVon der Physik zum Chip - die Welt der Mikroelektronik präzise und verständlich dargestellt