Untersuchungen über die Genauigkeit von Wegmeßsystemen und Verfahren zur Messung der Geradlinigkeit von Schlittenbewegungen

Inhaltsverzeichnis

• 1. Einleitung.
• 2. Untersuchungen über die Genauigkeit von Wegmeßsystemen.
• 2.1 Laser-Interferometer als Längen-Vergleichsnormal.
• 2.2 Aufbau und Funktionsweise des digitalen übertragungsfehler-Meßgerätes.
• 2.3 Praktische Untersuchungen an Meßsystemen.
• 3. Untersuchungen zur Messung der Abweichung von der Geradlinigkeit mit einem Laser-Strahl.
• 3.1 Methoden und Verfahren zur Messung der Abweichung von der Geradlinigkeit bzw. Ebenheit.
• 3.2 Das Laser-System zur Erzeugung des Laser-Strahls.
• 3.3 Die Ausbreitung des Laser-Strahls und seine Beeinflussung.
• 3.4 Strahldetektoren mit Ortsabhängigkeit.
• 3.5 Elektrischer Aufbau des Empfängers.
• 3.6 Anwendungsbezogene Messungen.
• 3.7 Praktische Maschinen-Messungen.
• 4. Zusammenfassung.
• Abbildungen.