„Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch für alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen Überblick über die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. Für den Anfänger sit das Buch allerdings nur bedingt geeignet, da der mathematische Anspruch sehr hoch ist.“
ImpulsE 6/01