SiC-Mikrofräswerkzeuge für die Mikrobearbeitung

Mit mechanischen Verfahren der Oberflächenbearbeitung können Topografien im Submikrometerbereich realisiert werden. Die Mikrofräsbearbeitung gewährleistet die hier erforderliche Präzision, wobei mit Werkzeugdurchmessern von D < 1 mm der empirische Ansatz zur Bestimmung der Prozessparameter angewendet wird. Im Rahmen dieser Arbeit konnten durch die experimentellen Untersuchungen Strategien zur Prozessführung der SiC-Mikrofräswerkzeuge erarbeitet werden. Im Fokus haben die Untersuchung der Wechselwirkungen der Werkzeuggeometrie mit dem Werkzeugverschleiß und die Prozessparameter gestanden. Zur Erfassung der Schneidkantenverrundung wurden Messungen durchgeführt, um mit den Ergebnissen die Optimierung der Einstellgrößen durchzuführen und Aussagen über weitere Parameter zu erzielen. Das Abtragsverhalten für das SiC-Mikrofräswerkzeug wurde beschrieben und durch modellspezifische Regressionsgleichungen auf Basis der statistischen Versuchsplanung aufgestellt.