Intensive Elektronen- und Ionenstrahlen

Inhaltsverzeichnis

• 1 Formierung intensiver Elektronen- und Ionenstrahlen.
• 1.1 Strahlparameter und Klassifikation von teilchenoptischen Systemen.
• 1.2 Formierung von Elektronenstrahlen in elektronischen Geräten.
• 1.3 Fokussierende (transportierende) Systeme.
• 1.4 Elektronenoptische Systeme in technologischen Elektronenstrahlanalgen.
• 1.5 Ionenoptische Systeme.
• 2 Methoden der Feldberechnung elektronenoptischer Systeme.
• 2.1 Grundlegende Gleichungen für das elektrostatische Feld.
• 2.2 Berechnung elektrostatischer Felder. Das Dirichlet-Problem.
• 2.3 Berechnung elektrostatischer Felder. Das Cauchy-Problem.
• 2.4 Computergestützte Berechnung elektrostatischer Felder.
• 2.5 Grundlegende Gleichungen des magnetischen Feldes.
• 3 Bewegung einfach geladener Teilchen.
• 3.1 Allgemeine Bewegungsgleichungen.
• 3.2 Bewegung von Teilchen in axialsymmetrischen Feldern.
• 3.3 Bewegung von Teilchen in planparallelen Feldern.
• 3.4 Numerische Berechnungsmethoden für Trajektorien geladener Teilchen.
• 3.5 Elektrostatische Linsen.
• 3.6 Magnetische Solenoidlinsen.
• 3.7 Magnetische Linsen aus Permanentmagneten.
• 4 Transport von Strömen geladener Teilchen.
• 4.1 Besonderheiten des Transportes geladener Teilchen.
• 4.2 Vereinfachte physikalische Modelle von Strömen geladener Teilchen.
• 4.3 Gleichungssysteme in der hydrodynamischen Näherung.
• 4.4 Genäherte Berechnung des Coulombfeldes.
• 4.5 Strahltransportberechnung in feldfreien Kanälen.
• 4.6 Der Einfluß positiver Ionen auf die Ausbreitung von Elektronenstrahlen.
• 4.7 Streung von Elektronenstrahlen an Restgasmolekülen.
• 4.8 Einfluß der Anfangsgeschwindigkeiten auf die Strahlkonfiguration.
• 4.9 Lösungsmethodik selbstkonsistenter elektronenoptischer Aufgaben.
• 5 Elektronenkanonen.
• 5.1 Die Formierung von Elektronenstrahlen.
• 5.2 Kanonen zur Formierung vonbandförmigen Strahlen.
• 5.3 Kanonen zur Formierung dichter axialsymmetrischer Strahlen.
• 5.4 Kanonen zur Formierung hohler axialsymmetrischer Strahlen.
• 5.5 Elektronenkanonen mit Steuerelektroden.
• 5.6 Rechnergestützte Projektierung von Elektronenkanonen.
• 6 Kanonen mit Autoemissions- und Plasmaemittern.
• 6.1 Grundlegende Eigenschaften und Kanonenparameter.
• 6.2 Schwachstromelektronen- und Ionenkanonen mit Autoemissionskathoden.
• 6.3 Starkstromelektronenkanonen mit Explosionsemissionskathoden.
• 6.4 Elektronen- und Ionenplasmaquellen.
• 6.5 Extraktion geladener Teilchen und Formierung von Teilchenstrahlen.
• 7 Magnetisch fokussierende Systeme.
• 7.1 Fokussierung voller axialsymmetrischer Strahlen im Magnetfeld.
• 7.2 Systeme zur reversiven und periodischen Fokussierung.
• 7.3 Fokussierung hohler axialsymmetrischer Strahlen.
• 7.4 Systeme zur Fokussierung bandförmiger Elektronenstrahlen.
• 7.5 Projektierung magnetisch fokussierender Systeme.
• 8 Elektrostatisch fokussierende Systeme.
• 8.1 Fokussierungssysteme für volle axialsymmetrische Strahlen.
• 8.2 Fokussierungssysteme für bandförmige Strahlen.
• 8.3 Fokussierung hohler axialsymmetrischer Strahlen.
• 9 Elektronenoptische Sondensysteme.
• 9.1 Elektronenoptische Systeme in Elektronenstrahl- schweißanlagen.
• 9.2 Elektronenoptische Systeme der Elektronenstrahllithographie.
• 9.3 Elektronenoptische Systeme von Anlagen zur Ionenimplantation.
• 10 Transport intensiver relativistischer Strahlen geladener Teilchen.
• 10.1 Relativistische Bewegungsgleichungen.
• 10.2 Intensive relativistische Strahlen in Vakuumkanälen.
• 10.3 Intensive neutralisierte Strahlen.
• 10.4 Trajektorienanalyse relativistischer Elektronenstrahlen auf dem Computer.
• 11 Elektronenoptische Vielstrahlensysteme.
• 11.1 Besonderheiten und Anwendungsbereiche.
• 11.2Vielstrahlelektronenkanonen und magnetisch fokussierende Systeme.
• 11.3 Besonderheiten der Formierung von Vielstrahlenelektronenflüssen.
• 11.4 Wechselwirkung von Elektronenstrahlen.
• 12 Elektronen- und Ionenstrahldiagnostik.
• 12.1 Die Messung von Strahlparametern.
• 12.2 Klassifikation und Charakteristik experimenteller Methoden.
• 12.3 Beweglicher Kollektor mit geringer Appertur.
• 12.4 Koaxiale Sonden mit Halbleitertarget.
• A Emittanz und Brigthness.
• A.1 Emittanz.
• A.2 Brightness.
• A.3 Mittlere quadratische Emittanz.
• B Kommentierte FORTRAN-Programmtexte.
• B.1 Berechnung der Induktivität eines Solenoiden.
• B.2 Feldberechnung einer ringförmigen Magnetlinse.
• B.3 Feldberechnung einer elektrostatischen Linse.
• B.4 Graphische Darstellung der Resultate.