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![]( "Buchcover ISBN 9783540221098")
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
von Joachim FrühaufSystematic manual of bulk silicon microtechniques Includes supplementary material: sn. pub/extras
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique von Joachim Frühauf | A Manual of Wet-Etched Silicon Structures | ISBN 9783540221098
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
von Joachim FrühaufISBN-Daten
Einband - fest (Hardcover)
Hardcover
222 SeitenVerlag
Springer BerlinAutor
Joachim Frühauferschienen am
12.10.2004Sprache
EnglischISBN-10
3-540-22109-3Abmessungen
23,5 x 15,5 cmLieferstatus
verfügbarPreis (UVP)
106,99 €*Lokal-Verfügbarkeit
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