Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique von Joachim Frühauf | A Manual of Wet-Etched Silicon Structures | ISBN 9783642060489

Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

von Joachim Frühauf
Buchcover Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique | Joachim Frühauf | EAN 9783642060489 | ISBN 3-642-06048-X | ISBN 978-3-642-06048-9

Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

von Joachim Frühauf
Systematic manual of bulk silicon microtechniques Includes supplementary material: sn. pub/extras

ISBN-Daten

Einband - flex.(Paperback)
 
Softcover
222 Seiten
erschienen am
13.10.2010
Sprache
Englisch
Rubrik
Industrielle Chemie und Chemietechnologie
ISBN-10
3-642-06048-X
Abmessungen
23,5 x 15,5 cm
Lieferstatus
Druck nach Bestellung
Preis (UVP)
129,98 €*
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