Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
von Joachim FrühaufSystematic manual of bulk silicon microtechniques Includes supplementary material: sn. pub/extras
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique von Joachim Frühauf | A Manual of Wet-Etched Silicon Structures | ISBN 9783540268765
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
von Joachim FrühaufISBN-Daten
Digitalprodukt / E-Book
eBook, PDF
222 SeitenVerlag
Springer BerlinAutor
Joachim Frühauferschienen am
05.12.2005Sprache
EnglischISBN-10
3-540-26876-6Lieferstatus
verfügbarPreis (UVP)
96,29 €*Lokal-Verfügbarkeit
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